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小型PECVD管式爐系統(tǒng):實(shí)驗(yàn)室小型PECVD系統(tǒng)

來(lái)源:高溫馬弗爐 | 發(fā)布日期:2024-06-09

小型PECVD管式爐系統(tǒng)為實(shí)驗(yàn)室用小型PECVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng)(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))由高溫管式爐、真空系統(tǒng)、3路質(zhì)子流量控制和射頻電源四大模塊組成,可加預(yù)熱爐。

本設(shè)備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內(nèi)形成等離子體,利用等離子的強(qiáng)化學(xué)活性,改善反應(yīng)條件,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù),然后得到基片上沉積出所期望的薄膜。


電爐名稱:1200℃小型PECVD管式爐系統(tǒng):

爐管尺寸:φ40--φ100mm

電爐結(jié)構(gòu):普通管式爐、滑動(dòng)管式爐

溫區(qū)長(zhǎng)度:300mm/440mm

設(shè)計(jì)溫度:1200℃

控溫精度:±1℃

混氣系統(tǒng):2路質(zhì)子混氣室、3路質(zhì)子混氣室、5路質(zhì)子混氣室

設(shè)備特點(diǎn):

1、CVD管式爐系統(tǒng)由高溫管式爐、真空獲得、3路質(zhì)子流量控制和射頻電源

2、管式爐可選擇不同的管徑和恒溫區(qū)的長(zhǎng)度、電爐結(jié)構(gòu)(普通管式爐、滑動(dòng)管式爐),爐管兩端裝有高真空不銹鋼密封法蘭;

3、真空系統(tǒng)可根據(jù)試驗(yàn)要求選擇不同的真空泵,旋片式機(jī)械真空泵真空度≤0.098Mpa,分子泵真空機(jī)組真空度1×10-4pa;

4、氣路供氣系統(tǒng)可選擇3路浮子手動(dòng)和3路自動(dòng)質(zhì)量流量系統(tǒng)

5、真空測(cè)量為數(shù)字復(fù)合真空機(jī)或皮拉尼真空計(jì)

6、等離子體放電選擇13.56Mhz的設(shè)備電源,功率輸出可選擇200W、300W和500W

7、管式爐可選擇單溫區(qū)300mm和440mm,也可選擇三溫區(qū)或多溫區(qū)進(jìn)行溫度的梯度試驗(yàn)

8、溫控器內(nèi)置的RS485數(shù)字通信端口和USB適配器作為可選配置,可連接PC,用于系統(tǒng)的遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視,還可以保存或?qū)С鰷y(cè)試結(jié)果。

小型PECVD管式爐系統(tǒng)型號(hào)參數(shù)(普通爐型):

型號(hào)規(guī)格

STR-PECVD40-12

STR-PECVD60-12

STR-PECVD80-12

STR-PECVD100-12

爐管尺寸

Φ40x 1200mm

Φ60 x 1200mm

Φ80x1200mm

Φ100x 1200mm

設(shè)計(jì)溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

溫區(qū)長(zhǎng)度

300mm/440mm

電源電壓

220V/1.8KW

220V/2.6KW

220V/2.6KW

220V/2.6KW

加熱元件

HRE鐵鉻鋁合金電阻絲

爐膛材料

濕法真空抽濾成型制備的多晶無(wú)機(jī)氧化鋁陶瓷纖維材料

爐管材料

石英管

控溫精度

±1℃

測(cè)溫元件

K型熱電偶

溫控儀表

智能智能溫控儀表+PID控制,SCR/SSR控制,PID參數(shù)自整定功能;

可編程序30個(gè)時(shí)段,程序升溫、程序保溫、程序降溫

升溫速度

1-25℃/min自由調(diào)節(jié)

爐體結(jié)構(gòu)

爐膛溫控一體式結(jié)構(gòu),爐膛開(kāi)合式;雙層爐體外殼,空氣循環(huán)隔熱

密封性能

爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭,配套高溫 PTFE 墊圈,可在真空下進(jìn)行工作, 真空度≤0.098Mpa(旋片式真空泵)

射頻電源

頻率:13.56 MHz±0.005%,功率:5W-500W,功率穩(wěn)定性 :±0.5%

氣體控制

可選擇3路浮子手動(dòng)流量計(jì),量程60-600ml /min;3路自動(dòng)質(zhì)量流量計(jì),量程1-500sccm

氣氛性能

法蘭兩端有進(jìn)氣口和出氣口,壓力表裝在金屬法蘭上,精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量,

可通入氮?dú)?、氬氣、氫氣等保護(hù)氣體

氣路接口

KF25真空擋板閥和KF25不銹鋼波紋管連接真空泵;

保護(hù)氣氛6mm不銹鋼卡套接頭和PTFE管路

設(shè)備保護(hù)

模塊化控制,對(duì)工作過(guò)程中的超溫、斷偶會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警信號(hào),并自動(dòng)完成保護(hù)動(dòng)作

人員保護(hù)

在設(shè)備上裝有空開(kāi)斷路器,如發(fā)生短路漏電情況時(shí)會(huì)自動(dòng)彈開(kāi),能保護(hù)設(shè)備和操作人員

爐體外殼

加厚冷軋鋼板數(shù)控機(jī)床下料加工,經(jīng)過(guò)焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉

質(zhì)量認(rèn)證

ISO9001,付費(fèi)可認(rèn)證CE、SGS、TUV

【本文標(biāo)簽】 小型PECVD系統(tǒng)、小型PECVD系統(tǒng)

【本文地址】

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