實驗室小型CVD化學(xué)氣相沉積爐

產(chǎn)品型號：實驗室小型CVD化學(xué)氣相沉積爐

電爐類型：高溫管式爐

電爐規(guī)格：

加熱溫度：

電爐系列：高溫馬弗爐

應(yīng)用范圍：實驗室小型CVD化學(xué)氣相沉積爐由開啟式單（雙）溫區(qū)管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、壓強控制儀及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成。小型CVD化學(xué)氣相沉積爐可實現(xiàn)真空達0 001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴散試驗。小型cvd系統(tǒng)有小型雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)、小型滑動管式爐CVD系統(tǒng)、二通道混氣CVD系統(tǒng) 、三通道混氣CVD系統(tǒng) 、集成式小型CVD系統(tǒng)。。

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產(chǎn)品簡介 / Introduction

實驗室小型CVD化學(xué)氣相沉積爐由開啟式單（雙）溫區(qū)管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、壓強控制儀及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成。小型CVD化學(xué)氣相沉積爐可實現(xiàn)真空達0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴散試驗。

小型cvd系統(tǒng)有小型雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)、小型滑動管式爐CVD系統(tǒng)、二通道混氣CVD系統(tǒng) 、三通道混氣CVD系統(tǒng) 、集成式小型CVD系統(tǒng)。

主要用途：

實驗室小型CVD化學(xué)氣相沉積爐可用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD/CVI實驗，特別適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長、電池材料干燥燒結(jié)等場所。

結(jié)構(gòu)特點：

1、高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成，真空度可達0.0001Pa；

2、可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現(xiàn)負壓的精準控制；

3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計，流量顯示儀等組成，實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性和連續(xù)均勻性。

4、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；

5、超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計進氣，使用穩(wěn)定可靠。

主要技術(shù)參數(shù)：

STR?TF60-1200	控溫方式	采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序。
	加熱元件	0Cr27Al7Mo2
	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管尺寸	Φ60,可選Φ60、Φ80、Φ100*1000mm
	工作溫度	≤1150℃
	設(shè)計溫度	1200℃
	恒溫精度	±1℃
	加熱區(qū)長度	440mm或220mm/220mm
	升溫速度	≤20℃/min
	工作電源	AC220V????50HZ/60HZ
	額定功率	4KW
ZK-F真空系統(tǒng)	真空范圍	0.1-0.001Pa
	極限真空	4.0*10^-4Pa
	產(chǎn)品配置	雙級旋片真空泵+分子泵
	測量方式	復(fù)合真空計
	真空規(guī)管	電阻規(guī)+電離規(guī)
	冷卻方式	風(fēng)冷
	工作電源	AC220V?50/60HZ
	抽速	110L/S
ZDFC-Ⅲ 壓強控制儀	測量范圍	5～1*10^-5?Pa
	穩(wěn)壓(真空)范圍	1～5*10^-3Pa
	壓力(真空)穩(wěn)定精度）	±3%
	控制范圍	2.510^3～110^-4?Pa
	控制精度	±?1%
HQZ-Ⅲ三路質(zhì)子混氣系統(tǒng)	控制方式	D07-7K質(zhì)量流量計,D08流量顯示儀
	流量規(guī)格	0－500SCCM?/0－1SLM,（可根據(jù)客戶需要配置）
	線性	±1%F.S
	準確度	±1%F.S
	重復(fù)精度	±0.2%F.S.
	響應(yīng)時間	≤2sec
	耐壓	3MPa
	氣路通道	3通道（根據(jù)客戶需求）
	針閥	316不銹鋼
	管道	Φ6mm不銹鋼管
	接口	SwagelokΦ6mm

Modulus 箱式氣氛保護爐小型石墨化爐高溫彈性模量測定儀

1200℃大口徑滑軌爐管式快速退火爐滲碳爐爐蓋總成鐘罩式金剛石鋸片氫氣保護燒結(jié)爐

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成功案例Success stories

小型CVD系統(tǒng)價格多少錢一臺？

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小型CVD系統(tǒng)可以加熱到多少度？

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小型CVD系統(tǒng)溫控表怎么操作?

小型CVD系統(tǒng)是由小型CVD系統(tǒng)生產(chǎn)廠家洛陽賽特瑞高溫實驗爐Sintering Furnace生產(chǎn)的,可以聯(lián)系我們獲得電子版操作說明，以及遠程視頻指導(dǎo)

小型CVD系統(tǒng)廠家哪個好?

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產(chǎn)品·優(yōu)勢

PRODUCT ADVANTAGES

外形美觀

外殼由冷軋鋼板折,表面經(jīng)高速拋丸后靜電噴塑。
密封圈式電纜

可拆卸組合面有密封墊、環(huán)、圈、帽。
產(chǎn)品更耐用

推出新型設(shè)計方案，結(jié)構(gòu)合理、通用性強、使用壽命高。
按需定制

可按客戶要求定制。

生產(chǎn)基地production base

洛陽賽特瑞高溫實驗爐Sintering Furnace目前共有90余種實驗室設(shè)備產(chǎn)品：高溫馬弗爐、小型CVD系統(tǒng)、高溫管式爐、氣氛爐、真空爐、熱震爐、結(jié)晶爐、火試金爐、箱式爐，常規(guī)品足量半成品儲備，快至3個工作日發(fā)貨，定制品承諾按期交貨；可根據(jù)客戶對產(chǎn)品環(huán)境測試的需求，為客戶量身定制性價比高的解決方案及非標定制服務(wù)。