實驗室小型CVD化學氣相沉積爐

產品型號：實驗室小型CVD化學氣相沉積爐

電爐類型：高溫管式爐

電爐規格：

加熱溫度：

電爐系列：高溫馬弗爐

應用范圍：實驗室小型CVD化學氣相沉積爐由開啟式單（雙）溫區管式爐、高真空分子泵系統、壓強控制儀及多通道高精度數字質量流量控制系統組成。小型CVD化學氣相沉積爐可實現真空達0 001Pa混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗。小型cvd系統有小型雙溫區管式爐CVD系統、小型滑動管式爐CVD系統、二通道混氣CVD系統、三通道混氣CVD系統、集成式小型CVD系統。。

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產品簡介 / Introduction

實驗室小型CVD化學氣相沉積爐由開啟式單（雙）溫區管式爐、高真空分子泵系統、壓強控制儀及多通道高精度數字質量流量控制系統組成。小型CVD化學氣相沉積爐可實現真空達0.001Pa混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗。

小型cvd系統有小型雙溫區管式爐CVD系統、小型滑動管式爐CVD系統、二通道混氣CVD系統、三通道混氣CVD系統、集成式小型CVD系統。

主要用途：

實驗室小型CVD化學氣相沉積爐可用于高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD/CVI實驗，特別適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長、電池材料干燥燒結等場所。

結構特點：

1、高真空系統由雙級旋片真空泵和分子泵組成，真空度可達0.0001Pa；

2、可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現負壓的精準控制；

3、數字質量流量控制系統是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現氣體的流量的精密測量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統的穩定性和連續均勻性。

4、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；

5、超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計進氣，使用穩定可靠。

主要技術參數：

STR?TF60-1200	控溫方式	采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，并可編制30段升降溫程序。
	加熱元件	0Cr27Al7Mo2
	爐管材質	高純石英
	爐管尺寸	Φ60,可選Φ60、Φ80、Φ100*1000mm
	工作溫度	≤1150℃
	設計溫度	1200℃
	恒溫精度	±1℃
	加熱區長度	440mm或220mm/220mm
	升溫速度	≤20℃/min
	工作電源	AC220V????50HZ/60HZ
	額定功率	4KW
ZK-F真空系統	真空范圍	0.1-0.001Pa
	極限真空	4.0*10^-4Pa
	產品配置	雙級旋片真空泵+分子泵
	測量方式	復合真空計
	真空規管	電阻規+電離規
	冷卻方式	風冷
	工作電源	AC220V?50/60HZ
	抽速	110L/S
ZDFC-Ⅲ 壓強控制儀	測量范圍	5～1*10^-5?Pa
	穩壓(真空)范圍	1～5*10^-3Pa
	壓力(真空)穩定精度）	±3%
	控制范圍	2.510^3～110^-4?Pa
	控制精度	±?1%
HQZ-Ⅲ三路質子混氣系統	控制方式	D07-7K質量流量計,D08流量顯示儀
	流量規格	0－500SCCM?/0－1SLM,（可根據客戶需要配置）
	線性	±1%F.S
	準確度	±1%F.S
	重復精度	±0.2%F.S.
	響應時間	≤2sec
	耐壓	3MPa
	氣路通道	3通道（根據客戶需求）
	針閥	316不銹鋼
	管道	Φ6mm不銹鋼管
	接口	SwagelokΦ6mm

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成功案例Success stories

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產品·優勢

PRODUCT ADVANTAGES

外形美觀

外殼由冷軋鋼板折,表面經高速拋丸后靜電噴塑。
密封圈式電纜

可拆卸組合面有密封墊、環、圈、帽。
產品更耐用

推出新型設計方案，結構合理、通用性強、使用壽命高。
按需定制

可按客戶要求定制。

生產基地production base

洛陽賽特瑞高溫實驗爐Sintering Furnace目前共有90余種實驗室設備產品：高溫馬弗爐、小型CVD系統、高溫管式爐、氣氛爐、真空爐、熱震爐、結晶爐、火試金爐、箱式爐，常規品足量半成品儲備，快至3個工作日發貨，定制品承諾按期交貨；可根據客戶對產品環境測試的需求，為客戶量身定制性價比高的解決方案及非標定制服務。