STR-MTF6-12-3Z小型滑動式CVD系統

產品型號：STR-MTF6-12-3Z小型滑動式CVD系統

電爐類型：高溫管式爐

電爐規格：

加熱溫度：1200

電爐系列：高溫馬弗爐

應用范圍：STR-MTF6-12-3Z小型滑動式CVD系統由1200度滑動式開啟式真空管式爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。此小型滑動式CVD系統燒結溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現快速的升降溫；配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。。

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產品簡介 / Introduction

STR?MTF6-12-3Z小型滑動式CVD系統由1200度滑動式開啟式真空管式爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。此小型滑動式CVD系統燒結溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現快速的升降溫；配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。

主要技術參數：

電爐名稱	小型滑動式CVD系統
電爐型號	STR-MTF6-12-3Z
爐體結構	雙層爐殼間配有風冷系統，有效保證外殼表面溫；真空吸附成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻支撐兩端安裝油壓緩沖器爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料
電源	電壓：AC220V?50、60Hz；功率：4KW
爐管	高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極小尺寸：Φ40、60、80、100*1200mm
法蘭及支撐	SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合
加熱系統	加熱元件采用摻鉬的鐵鉻鋁合金加熱絲(OCr27Al7Mo2)，加熱溫度可達1200℃。表面負荷高、經久耐用加熱區長度：440mm 恒溫區長度：200mm 工作溫度：≤1150℃ 設計溫度：1200℃ 升溫速率：10℃/min
溫控系統	溫度控制采用人工智能溫控儀表，具有PID調節、自整定功能30段升降溫程序測溫元件：K型熱電偶恒溫精度：±1℃
混氣系統	三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥管路采用304不銹鋼管，接口為Φ6卡套每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量流量規格：0~1SLM 流量精度：±1.5%
真空系統	采用雙極旋片真空泵，真空度可達5x10-1?Torr 數顯式真空壓力表可選高真空系統及真空計，壓力控制系統等
可選配件	混氣系統,中、高真空系統，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀。

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小型CVD系統價格多少錢一臺？

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產品·優勢

PRODUCT ADVANTAGES

外形美觀

外殼由冷軋鋼板折,表面經高速拋丸后靜電噴塑。
密封圈式電纜

可拆卸組合面有密封墊、環、圈、帽。
產品更耐用

推出新型設計方案，結構合理、通用性強、使用壽命高。
按需定制

可按客戶要求定制。

生產基地production base

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