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產品型號：實驗室用小型二維硫化鉬生長設備
電爐類型：Tube Furnace
電爐規格：
加熱溫度：
電爐系列：高溫馬弗爐
應用范圍：實驗室用小型二維硫化鉬生長設備。
實驗室用小型二維硫化鉬生長設備
該二維材料生長設備由預熱爐、反應爐，真空系統、供氣系統以及軌道支架五部分組成。前端配的預熱爐能夠用來預熱蒸發固態源，反應爐能夠提供反應所需的熱環境。兩臺電爐均安裝在滑軌支架上，可以實現快速升降溫，提升實驗效率。爐管內配有熱電偶測溫，可以準確控制反應條件。所有電路均采用高清全彩觸摸屏控制，操作簡單直觀易于上手。
供氣系統采用兩路質量流量計，流量控制精密，操作簡單直觀；真空系統采用高品質雙極旋片真空泵，真空度可達1.0E-1Pa，完全滿足CVD晶體生長實驗的需要。
二維硫化鉬生長設備用途：
本產品主要應用于二維材料的CVD法生長實驗，尤其適合二維硫化鉬的制備。
二維硫化鉬生長設備技術參數：
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預熱爐 |
電爐型號 |
STR TF100-1200 |
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爐膛長度 |
300mm |
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加熱區長 |
200mm |
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恒溫區長 |
100mm |
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工作溫度 |
0～1100℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫模式 |
30段或50段程序控溫 |
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顯示模式 |
LCD（高清全彩觸摸屏） |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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單溫區管式爐 |
產品型號 |
STR -O100-12 |
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爐膛長度 |
440mm |
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加熱區長 |
400mm |
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恒溫區長 |
200mm |
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工作溫度 |
0～1100℃ |
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|
控溫精度 |
±1℃ |
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|
控溫模式 |
30段或50段程序控溫 |
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顯示模式 |
LCD（高清全彩觸摸屏） |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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爐管 |
爐管材質 |
高純石英 |
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爐管長度 |
φ100mm x 1800mm |
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密封方式 |
304不銹鋼真空水冷法蘭 |
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法蘭接口 |
1/4英寸卡套接頭 |
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供氣系統 |
兩路質子流量計 |
北京七星華創，質子流量計 |
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流量范圍 |
MFC1量程：0~200SCCM??MFC2量程：0~200SCCM |
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測量精度 |
±1.5%F.S |
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重復精度 |
±0.2%FS |
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線性精度 |
±1%F.S. |
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響應時間 |
≤4s |
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工作壓力 |
-0.15Mpa~0.15Mpa |
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流量控制 |
LED高亮數碼管顯示，按鍵調節 每路氣體含有針閥單獨控制 |
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進氣接口 |
可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 |
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出氣接口 |
可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 |
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連接方式 |
雙卡套接頭 |
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工作溫度 |
5~45℃ |
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氣體預混 |
配氣體預混裝置 |
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排氣系統 |
機械泵 |
旋片泵 |
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抽氣速率 |
4L/S??? |
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排氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
電阻規 |
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極限真空 |
1.0E-1Pa |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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抽氣接口 |
KF16 |
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軌道 |
軌道長度 |
1.8m~2m 能實現兩個爐子一個爐位長度的滑動，實現快速升降溫 |
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