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實(shí)驗(yàn)室用小型二維硫化鉬生長設(shè)備-洛陽賽特瑞高溫實(shí)驗(yàn)爐Sintering Furnace

實(shí)驗(yàn)室用小型二維硫化鉬生長設(shè)備

  • 別稱:二維硫化鉬生長設(shè)備
  • 類型:高溫電爐系列
  • 溫度:
  • 規(guī)格:

產(chǎn)品詳情

實(shí)驗(yàn)室用小型二維硫化鉬生長設(shè)備

該二維材料生長設(shè)備由預(yù)熱爐、反應(yīng)爐,真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)以及軌道支架五部分組成。前端配的預(yù)熱爐能夠用來預(yù)熱蒸發(fā)固態(tài)源,反應(yīng)爐能夠提供反應(yīng)所需的熱環(huán)境。兩臺電爐均安裝在滑軌支架上,可以實(shí)現(xiàn)快速升降溫,提升實(shí)驗(yàn)效率。爐管內(nèi)配有熱電偶測溫,可以準(zhǔn)確控制反應(yīng)條件。所有電路均采用高清全彩觸摸屏控制,操作簡單直觀易于上手。

供氣系統(tǒng)采用兩路質(zhì)量流量計(jì),流量控制精密,操作簡單直觀;真空系統(tǒng)采用高品質(zhì)雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)1.0E-1Pa,完全滿足CVD晶體生長實(shí)驗(yàn)的需要。

二維硫化鉬生長設(shè)備用途:

本產(chǎn)品主要應(yīng)用于二維材料的CVD法生長實(shí)驗(yàn),尤其適合二維硫化鉬的制備。

二維硫化鉬生長設(shè)備技術(shù)參數(shù):

預(yù)熱爐

電爐型號

STR TF100-1200

爐膛長度

300mm

加熱區(qū)長

200mm

恒溫區(qū)長

100mm

工作溫度

0~1100℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD(高清全彩觸摸屏)

供電電源

AC:220V 50/60Hz

單溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品型號

STR -O100-12

爐膛長度

440mm

加熱區(qū)長

400mm

恒溫區(qū)長

200mm

工作溫度

0~1100℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD(高清全彩觸摸屏)

供電電源

AC:220V 50/60Hz

爐管

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管長度

φ100mm x 1800mm

密封方式

304不銹鋼真空水冷法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭

供氣系統(tǒng)

兩路質(zhì)子流量計(jì)

北京七星華創(chuàng),質(zhì)子流量計(jì)

流量范圍

MFC1量程:0~200SCCM??MFC2量程:0~200SCCM

測量精度

±1.5%F.S

重復(fù)精度

±0.2%FS

線性精度

±1%F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤4s

工作壓力

-0.15Mpa~0.15Mpa

流量控制

LED高亮數(shù)碼管顯示,按鍵調(diào)節(jié)

每路氣體含有針閥單獨(dú)控制

進(jìn)氣接口

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

出氣接口

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

連接方式

雙卡套接頭

工作溫度

5~45℃

氣體預(yù)混

配氣體預(yù)混裝置

排氣系統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

抽氣速率

4L/S???

排氣接口

KF16

真空測量

電阻規(guī)

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16

軌道

軌道長度

1.8m~2m

能實(shí)現(xiàn)兩個(gè)爐子一個(gè)爐位長度的滑動,實(shí)現(xiàn)快速升降溫


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