小型PECVD管式爐
PECVD管式爐的簡(jiǎn)介
小型PECVD管式爐又叫做等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)的設(shè)備，是制造半導(dǎo)體器件和電池(電池片、正負(fù)極電池材料等)、晶體生長(zhǎng)(石墨烯生長(zhǎng)、磚石生長(zhǎng)等材料)的重要工具之一。
PECVD系統(tǒng)是借助微波或射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在較低的溫度下合成高質(zhì)量的薄膜材料，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
PECVD管式爐產(chǎn)品特性:
電源范圍廣;溫度范圍寬;濺射區(qū)域長(zhǎng);整管可調(diào);精致小巧,性價(jià)比高;可實(shí)現(xiàn)快速升降溫,是實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的好選擇;也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。
爐體：
爐體是PECVD管式爐的主體結(jié)構(gòu)，通常采用高溫合金材料制造，能夠承受高溫和高壓。
加熱系統(tǒng)：
加熱系統(tǒng)是PECVD管式爐的核心部分，通常采用輻射加熱方式，通過(guò)高溫電熱元件將電能轉(zhuǎn)化為熱能。
反應(yīng)室：
反應(yīng)室是PECVD管式爐的核心部件，它是一個(gè)密閉的、能夠控制氣氛的容器。反應(yīng)室內(nèi)部通常安裝有熱電偶和溫度控制器。
微波或射頻系統(tǒng)：
微波或射頻系統(tǒng)是PECVD管式爐的重要部分，用于產(chǎn)生等離子體，增強(qiáng)化學(xué)反應(yīng)。
氣體系統(tǒng)：
氣體系統(tǒng)是PECVD管式爐的重要組成部分，用于控制氣體的流入和流出，保證化學(xué)反應(yīng)的順利進(jìn)行。
控制系統(tǒng)：
控制系統(tǒng)是PECVD管式爐的關(guān)鍵部分，用于控制設(shè)備的運(yùn)行和化學(xué)反應(yīng)的過(guò)程。
安全保護(hù)系統(tǒng)：
安全保護(hù)系統(tǒng)用于確保設(shè)備運(yùn)行的安全性和穩(wěn)定性。
PECVD非晶硅沉積速率快，可實(shí)現(xiàn)原位摻雜，將沉積工藝總時(shí)間控制在35分鐘以內(nèi)。雖然PECVD也會(huì)在硅片側(cè)面及電池正面邊緣區(qū)產(chǎn)生輕微的繞度區(qū)，但是易于去除。此外，PECVD的非晶硅僅沉積在石墨舟上，可定期清理，無(wú)需石英管耗材。
小型PECVD管式爐技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)品名稱 |
CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) |
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產(chǎn)品電爐型號(hào) |
STR-CVD/PECVD |
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滑道 |
帶滑道，可滑動(dòng)爐膛，實(shí)現(xiàn)快速升溫或冷卻功能 |
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加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
400mm??單溫區(qū)/雙溫區(qū) |
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爐管尺寸 |
直徑60x1200mm 外徑x長(zhǎng) |
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爐管材質(zhì) |
高純石英管 |
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工作溫度 |
≤1100℃ |
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溫控系統(tǒng) |
人工智能PID儀表，自動(dòng)控制溫度 |
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溫控精度 |
±1℃ (具有超溫及斷偶報(bào)警功能) |
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加熱速率 |
建議 0~10℃/min |
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加熱元件 |
高品質(zhì)電阻絲 |
CVD設(shè)備真空系統(tǒng)
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真空系統(tǒng) |
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額定電壓 |
單相 220V 50Hz |
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可通氣體 |
氮?dú)狻鍤獾榷栊詺怏w |
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測(cè)溫元件 |
熱電偶測(cè)溫 |
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殼體結(jié)構(gòu) |
雙層殼體結(jié)構(gòu)帶風(fēng)冷系統(tǒng) |
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真空法蘭 |
帶有進(jìn)氣口，另一端帶控壓閥，氣動(dòng)泄壓閥和放氣閥。 |
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供氣系統(tǒng) |
四路精密質(zhì)子流量計(jì)，通過(guò)觸屏來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量 |
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真空系統(tǒng) |
旋片泵，真空度在空爐冷態(tài)可達(dá)1pa， 真空計(jì)：進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)實(shí)時(shí)顯示真空度，精度高。 |
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氣體定量系統(tǒng) |
整體可以控制壓力范圍-20kpa到20kpa(相對(duì)壓力) |
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額定電壓 |
單相 220V 50Hz |
PECVD設(shè)備詳細(xì)參數(shù)
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電爐型號(hào) |
爐管直徑x加熱區(qū)長(zhǎng)度mm |
功率(kW) |
設(shè)計(jì)溫度設(shè)計(jì)溫度（℃） |
射頻電源 |
氣體控制 |
真空度（Pa） |
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| 頻率 | 功率 | ||||||
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STR-PECVD-60 |
Φ60×450 |
4 |
1200 |
13.56MHz±0.005% |
300-500W |
3路 |
10Pa/7x10-3 |
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STR-PECVD-80 |
Φ80×450 |
5 |
1200 |
3路 | 10Pa/7x10-3 | ||
|
STR-PECVD-100 |
Φ100×450 |
7 |
1200 |
3路 | 10Pa/7x10-3 | ||
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