1200℃小型CVD雙爐體滑動(dòng)管式爐
1200℃小型CVD雙爐體滑動(dòng)管式爐是一種實(shí)驗(yàn)室常用的高溫設(shè)備，雙爐體滑動(dòng)管式爐由兩個(gè)爐體組成，共用一支石英管和滑道，石英管兩端不銹鋼法蘭密封。
雙爐體滑動(dòng)管式爐爐底裝有一對(duì)滑軌，可以手動(dòng)左右移動(dòng)爐子。爐體在滑軌上滑動(dòng)，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華和薄膜沉積。這種設(shè)計(jì)使得雙爐體滑動(dòng)管式爐能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)樣品的快速加熱和快速冷卻，非常適合進(jìn)行高溫化學(xué)氣相沉積（CVD）等實(shí)驗(yàn)。
化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來(lái)沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
1200℃管式爐化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中用來(lái)沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
雙爐體滑動(dòng)管式爐廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、納米技術(shù)等領(lǐng)域。它們可以用于制備石墨烯、硫化物、氧化物等材料，也適用于進(jìn)行高溫?zé)崽幚怼Y(jié)、退火等實(shí)驗(yàn)。
主要技術(shù)參數(shù)
電爐名稱：1200℃小型CVD雙爐體滑動(dòng)管式爐
爐管尺寸：φ60、φ80、φ100、φ120mm
溫區(qū)長(zhǎng)度：250mm+250mm
設(shè)計(jì)溫度：1200℃
控溫精度：±1℃
電爐特點(diǎn)
1、爐體外殼采用金屬Q(mào)235低碳鋼，表面靜電耐藥涂裝，抗腐蝕，雙色搭配，簡(jiǎn)潔美觀
2、堅(jiān)固的雙層金屬框架配合隔熱風(fēng)扇結(jié)構(gòu)，爐表面溫度低
3、爐管水平、上開(kāi)蓋結(jié)構(gòu)，操作方便
4、配有滑動(dòng)裝置，爐底裝有水平滑軌，可實(shí)現(xiàn)管式爐移動(dòng)，達(dá)到快速升溫和降溫
5、多層隔熱設(shè)計(jì)，由輕質(zhì)氧化鋁陶瓷纖維和高品質(zhì)隔熱板背襯組成，不含石棉成分，熱損失小，能耗55、高品質(zhì)HRE螺旋電阻絲加熱元件，牢固的預(yù)埋式電阻絲（半露，鑲嵌在爐膛內(nèi)壁），在爐腔內(nèi)自由熱輻射加熱，使用壽命長(zhǎng)；電阻絲環(huán)形加熱，從而實(shí)現(xiàn)爐內(nèi)的良好均勻性
6、PID配合SSR控制方式，溫度控制準(zhǔn)確
7、配有304不銹鋼的密封法蘭，獲得爐管內(nèi)的真空或者氣氛
8、高品質(zhì)石英玻璃工作爐管，也可選擇金屬或剛玉材質(zhì)的工作爐管，從而適應(yīng)不同的工況
9、高性能雙旋片真空泵，可獲得5pa的真空度，數(shù)字真空計(jì)可顯示真空度
10、配有氣路控制單元，控制單元可選擇1-3路MFC自動(dòng)控制系統(tǒng)
1200℃小型CVD雙爐體滑動(dòng)管式爐技術(shù)參數(shù)
| 電爐名稱 | 1200度雙爐體滑動(dòng)管式爐 |
| 電爐型號(hào) | SGM-MTF60-1200D |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有冷風(fēng)系統(tǒng)自動(dòng)降溫爐殼溫度不超過(guò)50℃ |
| 爐膛材質(zhì) | 真空吸附成型的優(yōu)良高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡 |
| 設(shè)計(jì)溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤10℃/min，最快升溫速度20℃/min |
| 爐管材料 | 根據(jù)使用溫度不同，更換不同材質(zhì)管子 |
| 爐管尺寸 | 外徑:60mm |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 250mm/爐體 |
| 溫控系統(tǒng) |
溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 1、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置30段升降溫程序 2、控溫精度±1oC 3、具有過(guò)溫保護(hù)、斷偶保護(hù) 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 加熱元件 | 高溫合金絲 |
| 測(cè)溫元件 | K型熱電偶 |
| 工作電源 | AC220V，50Hz |
| 額定功率 | 5KW（以實(shí)際功率為準(zhǔn)） |
| 滑動(dòng)裝置 |
鍍Cr厚鋼板雙向滑軌，可實(shí)現(xiàn)管式爐移動(dòng)，達(dá)到快速升溫和降溫 |
| 法蘭密封 | 兩個(gè)1200℃管式爐共用一支石英管和滑道，石英管兩端不銹鋼法蘭密封 |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 質(zhì)量流量計(jì) |
三路精密質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。 MFC1 范圍: 0-500 sccm（量程可選） MFC2?范圍: 0-500 sccm（量程可選） MFC3 范圍: 0-500?sccm（量程可選） 氣路:3路 流量精度: 0.2% 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量。 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | 主機(jī)1臺(tái)，氣路系統(tǒng)1套，法蘭1套，石英管1支，爐堵2個(gè)，坩堝鉤1把，高溫手套1副、說(shuō)明書1份、合格證保修卡1份 |
小型CVD雙爐體滑動(dòng)管式爐（1400℃+1200℃）技術(shù)參數(shù)
| 電爐名稱 | 1400度雙爐體滑動(dòng)管式爐 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | SGM-DTF60-1400D |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有冷風(fēng)系統(tǒng)自動(dòng)降溫爐殼溫度不超過(guò)50℃ |
| 爐膛材質(zhì) | 真空吸附成型的優(yōu)良高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡 |
| 最高溫度 | 1400℃ |
| 連續(xù)工作溫度 | ≤1300℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤10℃/min，最快升溫速度20℃/min |
| 爐管材料 | 根據(jù)使用溫度不同，更換不同材質(zhì)管子 |
| 爐管尺寸 | 外徑:60mm |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm |
| 溫控系統(tǒng) |
溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 1、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置30段升降溫程序 2、控溫精度±1oC 3、具有過(guò)溫保護(hù)、斷偶保護(hù) 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 加熱元件 | 高溫硅碳棒 |
| 測(cè)溫元件 | S型熱電偶 |
| 工作電源 | AC220V，50Hz |
| 額定功率 | 5KW（以實(shí)際功率為準(zhǔn)） |
| 滑動(dòng)裝置 |
鍍Cr厚鋼板雙向滑軌，可實(shí)現(xiàn)管式爐移動(dòng)，達(dá)到快速升溫和降溫 與1200℃管式爐共用滑道 |
| 1200℃管式爐部分 | |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有冷風(fēng)系統(tǒng)自動(dòng)降溫爐殼溫度不超過(guò)50℃ |
| 爐膛材質(zhì) | 真空吸附成型的優(yōu)良高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡 |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤10℃/min，最快升溫速度20℃/min |
| 爐管尺寸 | Φ60mm ?（長(zhǎng)度以實(shí)際溫度為準(zhǔn)） |
| 溫區(qū)長(zhǎng)度 | 250mm |
| 溫控系統(tǒng) |
溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 1、采用PID方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置30段升降溫程序 2、控溫精度±1oC 3、具有過(guò)溫保護(hù)、斷偶保護(hù) 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 加熱元件 | 含鉬合金電阻絲 |
| 測(cè)溫元件 | K型熱電偶 |
| 工作電源 | AC220V，50/60Hz |
| 額定功率 | 3KW（以實(shí)際功率為準(zhǔn)） |
| 滑動(dòng)裝置 |
鍍Cr厚鋼板雙向滑軌，可實(shí)現(xiàn)管式爐移動(dòng)，達(dá)到快速升溫和降溫 與1400℃管式爐共用滑道 |
| 法蘭密封 | 1400℃管式爐和1200℃管式爐共用一支石英管和滑道，石英管兩端不銹鋼法蘭密封 |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 質(zhì)量流量計(jì) |
三路精密質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。 MFC1 范圍: 0-500 sccm（量程可選） MFC2?范圍: 0-500 sccm（量程可選） MFC3 范圍: 0-500?sccm（量程可選） 氣路:3路 流量精度: 0.2% 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量。 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | 主機(jī)1臺(tái)，氣路系統(tǒng)1套，法蘭1套，石英管1支，爐堵2個(gè)，坩堝鉤1把，高溫手套1副、說(shuō)明書1份、合格證保修卡1份 |
雙爐體滑動(dòng)管式爐在制備石墨烯、鋰電正負(fù)極材料、晶體退火、LED發(fā)光材料等領(lǐng)域表現(xiàn)出優(yōu)勢(shì)。這種爐子的設(shè)計(jì)允許兩個(gè)爐膛左右自由移動(dòng)，可以隨時(shí)改變溫場(chǎng)位置，實(shí)現(xiàn)快速降溫等功能。此外，雙爐體滑動(dòng)管式爐還具有良好的保溫性能、耐用性以及節(jié)能效果，能夠滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求。
雙爐體滑動(dòng)管式爐相對(duì)于單爐體而言，具有以下幾個(gè)顯著的性能特點(diǎn)：
雙爐體設(shè)計(jì)：雙爐體滑動(dòng)管式爐通常內(nèi)置兩個(gè)獨(dú)立的溫區(qū)，能夠創(chuàng)造出不同的溫度梯度，這對(duì)于某些特定的實(shí)驗(yàn)條件非常有利，如生長(zhǎng)石墨烯等。
快速加熱和冷卻：由于采用了滑動(dòng)爐體設(shè)計(jì)，雙爐體滑動(dòng)管式爐能夠在加熱和冷卻過(guò)程中實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)，這樣可以更快地達(dá)到所需的溫度，并在實(shí)驗(yàn)結(jié)束后迅速冷卻樣品，減少熱應(yīng)力對(duì)樣品的影響。
靈活的空間布局：雙爐體滑動(dòng)管式爐的設(shè)計(jì)使得在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中，樣品可以在爐體內(nèi)部自由移動(dòng)，這不僅有助于樣品的均勻加熱，還可以在實(shí)驗(yàn)結(jié)束后迅速移出爐體，實(shí)現(xiàn)快速降溫。
高效的保溫性能：雙爐體滑動(dòng)管式爐通常采用優(yōu)質(zhì)的保溫材料，如真空吸附成型的氧化鋁多晶纖維，這種材料具有良好的保溫性能和較高的拉伸強(qiáng)度，能夠確保爐內(nèi)溫度的穩(wěn)定性。
安全可靠的操作：雙爐體滑動(dòng)管式爐配備了多種安全保護(hù)措施，如上蓋開(kāi)啟自動(dòng)斷電功能、超溫報(bào)警斷電功能以及漏電保護(hù)措施，這些都大大提高了實(shí)驗(yàn)的安全性。
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