1200℃小型CVD雙爐體滑動管式爐
1200℃小型CVD雙爐體滑動管式爐是一種實驗室常用的高溫設備，雙爐體滑動管式爐由兩個爐體組成，共用一支石英管和滑道，石英管兩端不銹鋼法蘭密封。
雙爐體滑動管式爐爐底裝有一對滑軌，可以手動左右移動爐子。爐體在滑軌上滑動，以便實現對原材料的蒸發/升華和薄膜沉積。這種設計使得雙爐體滑動管式爐能夠實現對樣品的快速加熱和快速冷卻，非常適合進行高溫化學氣相沉積（CVD）等實驗。
化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料。
1200℃管式爐化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業中用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料。
雙爐體滑動管式爐廣泛應用于材料科學、半導體制造、納米技術等領域。它們可以用于制備石墨烯、硫化物、氧化物等材料，也適用于進行高溫熱處理、燒結、退火等實驗。
主要技術參數
電爐名稱：1200℃小型CVD雙爐體滑動管式爐
爐管尺寸：φ60、φ80、φ100、φ120mm
溫區長度：250mm+250mm
設計溫度：1200℃
控溫精度：±1℃
電爐特點
1、爐體外殼采用金屬Q235低碳鋼，表面靜電耐藥涂裝，抗腐蝕，雙色搭配，簡潔美觀
2、堅固的雙層金屬框架配合隔熱風扇結構，爐表面溫度低
3、爐管水平、上開蓋結構，操作方便
4、配有滑動裝置，爐底裝有水平滑軌，可實現管式爐移動，達到快速升溫和降溫
5、多層隔熱設計，由輕質氧化鋁陶瓷纖維和高品質隔熱板背襯組成，不含石棉成分，熱損失小，能耗55、高品質HRE螺旋電阻絲加熱元件，牢固的預埋式電阻絲（半露，鑲嵌在爐膛內壁），在爐腔內自由熱輻射加熱，使用壽命長；電阻絲環形加熱，從而實現爐內的良好均勻性
6、PID配合SSR控制方式，溫度控制準確
7、配有304不銹鋼的密封法蘭，獲得爐管內的真空或者氣氛
8、高品質石英玻璃工作爐管，也可選擇金屬或剛玉材質的工作爐管，從而適應不同的工況
9、高性能雙旋片真空泵，可獲得5pa的真空度，數字真空計可顯示真空度
10、配有氣路控制單元，控制單元可選擇1-3路MFC自動控制系統
1200℃小型CVD雙爐體滑動管式爐技術參數
| 電爐名稱 | 1200度雙爐體滑動管式爐 |
| 電爐型號 | SGM-MTF60-1200D |
| 爐體結構 | 雙層殼體結構，配有冷風系統自動降溫爐殼溫度不超過50℃ |
| 爐膛材質 | 真空吸附成型的優良高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
| 設計溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤10℃/min，最快升溫速度20℃/min |
| 爐管材料 | 根據使用溫度不同，更換不同材質管子 |
| 爐管尺寸 | 外徑:60mm |
| 加熱區長度 | 250mm/爐體 |
| 溫控系統 |
溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能 1、采用PID方式調節控溫，可設置30段升降溫程序 2、控溫精度±1oC 3、具有過溫保護、斷偶保護 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 加熱元件 | 高溫合金絲 |
| 測溫元件 | K型熱電偶 |
| 工作電源 | AC220V，50Hz |
| 額定功率 | 5KW（以實際功率為準） |
| 滑動裝置 |
鍍Cr厚鋼板雙向滑軌，可實現管式爐移動，達到快速升溫和降溫 |
| 法蘭密封 | 兩個1200℃管式爐共用一支石英管和滑道，石英管兩端不銹鋼法蘭密封 |
| 氣路系統部分 | |
| 質量流量計 |
三路精密質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制。 MFC1 范圍: 0-500 sccm（量程可選） MFC2?范圍: 0-500 sccm（量程可選） MFC3 范圍: 0-500?sccm（量程可選） 氣路:3路 流量精度: 0.2% 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量。 |
| 標準配置 | 主機1臺，氣路系統1套，法蘭1套，石英管1支，爐堵2個，坩堝鉤1把，高溫手套1副、說明書1份、合格證保修卡1份 |
小型CVD雙爐體滑動管式爐（1400℃+1200℃）技術參數
| 電爐名稱 | 1400度雙爐體滑動管式爐 |
| 產品型號 | SGM-DTF60-1400D |
| 爐體結構 | 雙層殼體結構，配有冷風系統自動降溫爐殼溫度不超過50℃ |
| 爐膛材質 | 真空吸附成型的優良高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
| 最高溫度 | 1400℃ |
| 連續工作溫度 | ≤1300℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤10℃/min，最快升溫速度20℃/min |
| 爐管材料 | 根據使用溫度不同，更換不同材質管子 |
| 爐管尺寸 | 外徑:60mm |
| 加熱區長度 | 300mm |
| 溫控系統 |
溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能 1、采用PID方式調節控溫，可設置30段升降溫程序 2、控溫精度±1oC 3、具有過溫保護、斷偶保護 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 加熱元件 | 高溫硅碳棒 |
| 測溫元件 | S型熱電偶 |
| 工作電源 | AC220V，50Hz |
| 額定功率 | 5KW（以實際功率為準） |
| 滑動裝置 |
鍍Cr厚鋼板雙向滑軌，可實現管式爐移動，達到快速升溫和降溫 與1200℃管式爐共用滑道 |
| 1200℃管式爐部分 | |
| 爐體結構 | 雙層殼體結構，配有冷風系統自動降溫爐殼溫度不超過50℃ |
| 爐膛材質 | 真空吸附成型的優良高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡 |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤10℃/min，最快升溫速度20℃/min |
| 爐管尺寸 | Φ60mm ?（長度以實際溫度為準） |
| 溫區長度 | 250mm |
| 溫控系統 |
溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能 1、采用PID方式調節控溫，可設置30段升降溫程序 2、控溫精度±1oC 3、具有過溫保護、斷偶保護 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 加熱元件 | 含鉬合金電阻絲 |
| 測溫元件 | K型熱電偶 |
| 工作電源 | AC220V，50/60Hz |
| 額定功率 | 3KW（以實際功率為準） |
| 滑動裝置 |
鍍Cr厚鋼板雙向滑軌，可實現管式爐移動，達到快速升溫和降溫 與1400℃管式爐共用滑道 |
| 法蘭密封 | 1400℃管式爐和1200℃管式爐共用一支石英管和滑道，石英管兩端不銹鋼法蘭密封 |
| 氣路系統部分 | |
| 質量流量計 |
三路精密質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制。 MFC1 范圍: 0-500 sccm（量程可選） MFC2?范圍: 0-500 sccm（量程可選） MFC3 范圍: 0-500?sccm（量程可選） 氣路:3路 流量精度: 0.2% 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量。 |
| 標準配置 | 主機1臺，氣路系統1套，法蘭1套，石英管1支，爐堵2個，坩堝鉤1把，高溫手套1副、說明書1份、合格證保修卡1份 |
雙爐體滑動管式爐在制備石墨烯、鋰電正負極材料、晶體退火、LED發光材料等領域表現出優勢。這種爐子的設計允許兩個爐膛左右自由移動，可以隨時改變溫場位置，實現快速降溫等功能。此外，雙爐體滑動管式爐還具有良好的保溫性能、耐用性以及節能效果，能夠滿足材料驟冷驟熱的實驗要求。
雙爐體滑動管式爐相對于單爐體而言，具有以下幾個顯著的性能特點：
雙爐體設計：雙爐體滑動管式爐通常內置兩個獨立的溫區，能夠創造出不同的溫度梯度，這對于某些特定的實驗條件非常有利，如生長石墨烯等。
快速加熱和冷卻：由于采用了滑動爐體設計，雙爐體滑動管式爐能夠在加熱和冷卻過程中實現快速移動，這樣可以更快地達到所需的溫度，并在實驗結束后迅速冷卻樣品，減少熱應力對樣品的影響。
靈活的空間布局：雙爐體滑動管式爐的設計使得在實驗過程中，樣品可以在爐體內部自由移動，這不僅有助于樣品的均勻加熱，還可以在實驗結束后迅速移出爐體，實現快速降溫。
高效的保溫性能：雙爐體滑動管式爐通常采用優質的保溫材料，如真空吸附成型的氧化鋁多晶纖維，這種材料具有良好的保溫性能和較高的拉伸強度，能夠確保爐內溫度的穩定性。
安全可靠的操作：雙爐體滑動管式爐配備了多種安全保護措施，如上蓋開啟自動斷電功能、超溫報警斷電功能以及漏電保護措施，這些都大大提高了實驗的安全性。
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