STR-MTF6-12-3Z小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)
- 別稱：小型CVD系統(tǒng)
- 類型：高溫電爐系列
- 溫度：1200
- 規(guī)格：
產(chǎn)品詳情
STR?MTF6-12-3Z小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)由1200度滑動(dòng)式開啟式真空管式爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成。此小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃，通過滑動(dòng)爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫；配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度；同時(shí)通過三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。
主要技術(shù)參數(shù)：
|
電爐名稱 |
小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng) |
|
電爐型號(hào) |
STR-MTF6-12-3Z |
|
爐體結(jié)構(gòu) |
雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫； 真空吸附成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 爐子底部裝有一對(duì)滑軌，移動(dòng)平穩(wěn) 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻 支撐兩端安裝油壓緩沖器 爐蓋可開啟，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料 |
|
電源 |
電壓：AC220V?50、60Hz；功率：4KW |
|
爐管 |
高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小 尺寸：Φ40、60、80、100*1200mm |
|
法蘭及支撐 |
SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
|
加熱系統(tǒng) |
加熱元件采用摻鉬的鐵鉻鋁合金加熱絲(OCr27Al7Mo2)，加熱溫度可達(dá)1200℃。表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用 加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm 工作溫度：≤1150℃ 設(shè)計(jì)溫度：1200℃ 升溫速率：10℃/min |
|
溫控系統(tǒng) |
溫度控制采用人工智能溫控儀表，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序 測(cè)溫元件：K型熱電偶 恒溫精度：±1℃ |
|
混氣系統(tǒng) |
三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用304不銹鋼管，接口為Φ6卡套 每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格：0~1SLM 流量精度：±1.5% |
|
真空系統(tǒng) |
采用雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)5x10-1?Torr 數(shù)顯式真空壓力表 可選高真空系統(tǒng)及真空計(jì)，壓力控制系統(tǒng)等 |
|
可選配件 |
混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀。 |
小型CVD系統(tǒng) 生產(chǎn)廠家哪家好？STR-MTF6-12-3Z小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)-洛陽(yáng)賽特瑞高溫實(shí)驗(yàn)爐Sintering Furnace為專業(yè)的小型CVD系統(tǒng)生產(chǎn)廠家，具有多年的研發(fā)與生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠 TAG:小型CVD系統(tǒng)
洛陽(yáng)賽特瑞高溫實(shí)驗(yàn)爐Sintering Furnace是高溫爐_高溫馬弗爐_實(shí)驗(yàn)電爐_高溫電爐_真空氣氛爐_熱震實(shí)驗(yàn)爐_箱式電爐_負(fù)極材料預(yù)碳化箱式氣氛爐_石墨化爐_高溫電阻爐_升降電爐_工業(yè)電爐等設(shè)備和高溫電爐配件生產(chǎn)廠家
Copyright ? 2020 洛陽(yáng)賽特瑞高溫實(shí)驗(yàn)爐Sintering Furnace 豫備
