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STR-MTF6-12-3Z小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)-洛陽(yáng)賽特瑞高溫實(shí)驗(yàn)爐Sintering Furnace

STR-MTF6-12-3Z小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)

  • 別稱:小型CVD系統(tǒng)
  • 類型:高溫電爐系列
  • 溫度:1200
  • 規(guī)格:

產(chǎn)品詳情

STR?MTF6-12-3Z小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)由1200度滑動(dòng)式開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃,通過滑動(dòng)爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。

主要技術(shù)參數(shù):

電爐名稱

小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)

電爐型號(hào)

STR-MTF6-12-3Z

爐體結(jié)構(gòu)

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫;

真空吸附成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

爐子底部裝有一對(duì)滑軌,移動(dòng)平穩(wěn)

爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻

支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V?50、60Hz;功率:4KW

爐管

高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小

尺寸:Φ40、60、80、100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用摻鉬的鐵鉻鋁合金加熱絲(OCr27Al7Mo2),加熱溫度可達(dá)1200℃。表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用

加熱區(qū)長(zhǎng)度:440mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:200mm

工作溫度:≤1150℃

設(shè)計(jì)溫度:1200℃

升溫速率:10℃/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能溫控儀表,具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序

測(cè)溫元件:K型熱電偶

恒溫精度:±1℃

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用304不銹鋼管,接口為Φ6卡套

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格:0~1SLM

流量精度:±1.5%

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)5x10-1?Torr

數(shù)顯式真空壓力表

可選高真空系統(tǒng)及真空計(jì),壓力控制系統(tǒng)等

可選配件

混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。


小型CVD系統(tǒng) 生產(chǎn)廠家哪家好?STR-MTF6-12-3Z小型滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)-洛陽(yáng)賽特瑞高溫實(shí)驗(yàn)爐Sintering Furnace為專業(yè)的小型CVD系統(tǒng)生產(chǎn)廠家,具有多年的研發(fā)與生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠 TAG:小型CVD系統(tǒng) 

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