晶片退火爐主要技術(shù)參數(shù)
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電爐型號 |
CBF1800 單向退火爐 |
CBF1800 雙向退火爐 |
CBF1650 單向退火爐 |
CBF1650 雙向退火爐 |
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有效工作區(qū)尺寸(mm) |
860*340*300 |
860*340*300 |
860*420*450 |
860*420*450 |
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額定功率 |
57KVA |
57KVA |
57KVA |
57KVA |
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每爐裝載量 |
4寸晶棒約5800mm |
4寸晶棒約5800mm |
4寸晶片約9000mm |
4寸晶片約9000mm |
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額定溫度 |
1750℃ |
1750℃ |
1600℃ |
1600℃ |
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加熱元件 |
1900型U型硅鉬棒 |
1900型U型硅鉬棒 |
1800型U型硅鉬棒 |
1800型U型硅鉬棒 |
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控制精度 |
≤±0.5℃ |
≤±0.5℃ |
≤±0.5℃ |
≤±0.5℃ |
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控溫方式 |
100段PID智能程序控溫,可編程序控制器(PLC)控制+觸摸屏+工控機(jī) |
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保溫材料 |
氧化鋯纖維 |
氧化鋯纖維 |
氧化鋁纖維 |
氧化鋁纖維 |
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移動軌道行程速率 |
1040.4mm/分 |
1040.4mm/分 |
1040.4mm/分 |
1040.4mm/分 |
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升降平臺行程速率 |
92.8mm/分 |
92.8mm/分 |
92.8mm/分 |
92.8mm/分 |
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操控方式 |
手動與自動 |
手動與自動 |
手動與自動 |
手動與自動 |
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工作電壓 |
電爐加熱380V 儀表工作220V |
電爐加熱380V 儀表工作220V |
電爐加熱380V 儀表工作220V |
電爐加熱380V 儀表工作220V |
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運行機(jī)構(gòu) |
絲桿、軌道、電動運行 |
絲桿、軌道、電動運行 |
絲桿、軌道、電動運行 |
絲桿、軌道、電動運行 |
1800℃退火爐為1800℃升降式燒結(jié)爐、1800度升降式高溫退火爐。
1800℃ 晶棒退火爐、晶片退火爐
電爐結(jié)構(gòu)有連體升降爐、分體升降爐、1800℃雙向裝卸料、1800℃雙向退火爐、單向退火爐、
洛陽賽特瑞高溫實驗爐Sintering Furnace是高溫爐_高溫馬弗爐_實驗電爐_高溫電爐_真空氣氛爐_熱震實驗爐_箱式電爐_負(fù)極材料預(yù)碳化箱式氣氛爐_石墨化爐_高溫電阻爐_升降電爐_工業(yè)電爐等設(shè)備和高溫電爐配件生產(chǎn)廠家
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