1800℃高溫升降式退火爐為晶棒退火爐、晶片退火爐。該1800℃高溫升降式退火爐可選智能電動升降式、單向、雙向軌道、絲桿、電動升降式。
1800℃高溫升降式退火爐采用1900型硅鉬棒為加熱元件,加熱元件分布四周,熱場溫度均勻;氧化鋯纖維做保溫與爐膛材料;以及特制的傳感器,控制系統為全自動(PLC)工控系統+觸摸屏+工控機;使用溫度1800℃,長期使用溫度1750℃,恒溫時間不限;節能環保;采用雙殼體設計、配有風冷系統,可使爐殼表面溫度低,更換方便,使用壽命長的優點。
主要特點:
1、節能環保;
2、使用溫度高,恒溫時間不限;
3、爐門設計獨特,裝卸料快捷;
4、加熱元件分布四周,熱場溫度均勻;
5、爐殼表面溫度低,使用壽命長,更換方便等優勢。
晶棒退火爐 Crystal bar annealing furnace
主要技術參數
| 型號 |
CBF1800 單向退火爐 |
CBF1800 雙向退火爐 |
CBF1650 單向退火爐 |
CBF1650 雙向退火爐 |
|
有效工作區 尺寸(mm) |
860*340*300 | 860*340*300 | 860*420*450 | 860*420*450 |
| 額定功率 | 57KVA | 57KVA | 57KVA | 57KVA |
| 每爐裝載量 |
4寸晶棒約 5800mm |
4寸晶棒約 5800mm |
4寸晶片約 9000mm |
4寸晶片約 9000mm |
| 額定溫度 | 1750℃ | 1750℃ | 1600℃ | 1600℃ |
| 加熱元件 |
U型1900型硅鉬棒 |
U型1900型硅鉬棒 |
U型1800型硅鉬棒 |
U型1800型硅鉬棒 |
| 控制精度 | 士0.5℃ | 士0.5℃ | 士0.5℃ | 士0.5℃ |
| 控溫方式 | 50 段PID智能程序控溫,可編程序控制器(PLC)控制+觸摸屏+工控機 | |||
| 保溫材料 | 氧化錯纖維 | 氧化錯纖維 | 氧化鋁纖維 | 氧化鋁纖維 |
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移動軌道行 程速率 |
1040.4mm/分 | 1040.4mm/分 | 1040.4mm/分 | 1040.4mm/分 |
|
升降平臺行 程速率 |
92.8mm/分 | 92.8mm/分 | 92.8mm/分 | 92.8mm/分 |
| 操控方式 | 手動與自動 | 手動與自動 | 手動與自動 | 手動與自動 |
| 工作電壓 |
電爐加熱380V 儀表工作220v |
電爐加熱380V 儀表工作220V |
電爐加熱380V 儀表工作220V |
電爐加熱380V 儀表工作220V |
| 運行機構 |
絲桿、軌道、電 動運行 |
絲桿、軌道、電 動運行 |
絲桿、軌道、電動 運行 |
絲桿、軌道、電 動運行 |
1800℃晶棒退火爐是藍寶石晶棒、晶片退火,特種陶瓷燒結,其它超高溫行業燒結,各大科研院校和質檢單位的高溫退火設備??筛鶕脩羯a需求訂制同款式非標型號設備。
通過幾年以來藍寶石晶棒退火實踐證明,在加工切片前必須要進行退火流程來解決晶體應力所導致的不良情況。
藍寶石晶棒退火目的是什么?
在高溫(1750℃)加熱狀態下,通過高溫促使晶體晶格打亂后重新排列,同時清除一些晶格內部缺陷,從而釋放內部應力,為后續加工奠定良好的基礎。
晶體退火恒溫時間為36小時;每爐次退火時間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后,晶片翹曲低于1絲,線弓小于2毫米、內應力、崩邊現象及線痕精準度得到很大的提升;加工后的晶片成品率也達到了95%以上。成品率提高了,成本又降低了很多,同時延長了晶棒的切割線的使用壽命。
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